Οι φακοί F-Θήτα χρησιμοποιούνται συνήθως σε συνδυασμό με καθρέφτες σάρωσης γαλβανόμετρου σε συστήματα χάραξης, κοπής και σήμανσης με λέιζερ. Συνήθως, η παραμόρφωση F-Θήτα του φακού διατηρείται κάτω από 1%, έτσι ώστε να είναι σε θέση να παράγει ένα ακριβές σημείο στο επίπεδο πεδίο στο επίπεδο της εικόνας.
Ανοχή διαμέτρου: +0/-0,13mm
Ανοχή πάχους: ±0,25mm
Ανοχή εστιακού μήκους: ±2%
Μεταβολή Πάχους Άκρης (ETV): ≤3 τόξο ελάχιστο.
Καθαρό διάφραγμα: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Ποιότητα επιφάνειας: 40-20 SD
Επίστρωση AR: R <0,2% ανά επιφάνεια @10,6μ